超声波技术在碳化硅的应用

一、公司介绍

高束能（山东）纳米科技有限公司是一家抗疲劳纳米制造装备的高科技产业公司,科研转化产品：超硬微纳米材料、超声波刀柄、超音波刀架、超声微锻、纳米车削刀具、高束铣削刀具、超声光整设备、激光抗疲劳机器人及专用装备制造生产，解决制造效率低、工艺环节差、综合成本高、使用寿命短的问题，实现以切代磨。

高束能公司是中国光整协会、中国超声协会会员单位，与国内几十院所达成技术合作，以技术转化产品为主的高科技企业，专业为航空航天、科研院所、军工造船、轨道交通等国内外大型单位缔造束能改性加工装备，并提供完善解决方案。

二、技术原理

高束EPU（Energy Processing Unit）能量加工单元是利用超声波的激活能和冲击能的复合能量，以16kHz-40kHz/秒的频率对零件以高强度、大能量、聚焦性能强的频脉冲带动刀具振动切削加工.

当工件的局部应力远远超过材料脆裂极限，材料局部破碎去除。由于超声加工中的刀具旋转运动与附加的振动相互叠加，减小加工力达40%-800%，特别适用于玻璃、陶瓷、蓝宝石、3D热弯玻璃石墨、碳化硅（SicC）、复合材料等传统难加工硬脆材料的精密磨削及切削加工。广泛应用于3C、航空航天、国防装备、汽车及新能源等行业。

三、产品介绍

超声波加工则是利用高频振动机构，在刀具对工件加工时提供微震动，其主要优点包括：增强刀具排屑、提升散热功能、延长刀具使用寿命；透过高频敲击的动能，降低工件的切削抗力，同时消除工件表面的残留应力；利用高频位移的特性，适合作为纤维复材的铣切断屑，提高复材寿命；去除工件材料主要依靠磨粒瞬时局部的冲击作用，故工件表面的切削应力很小，切削热更小，不会产生变形及烧伤，表面粗糙度也较低。